國家重大科學儀器設備開發(fā)項目在上海自儀股份公司啟動

11月25日，由上海自動化儀表股份有限公司www.shybdj6.net承擔的國家“十三五”重點研發(fā)計劃重大科學儀器設備開發(fā)項目 《超光滑表面無損檢測儀》正式啟動。

　　該儀器主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數(shù)的快速檢測，還可應用于大型現(xiàn)代光學工程系統(tǒng)，如大型高功率固體激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數(shù)測量。